【摘要】本发明涉及一种服装，尤其是一种带照明功能的舒适感与自由动感服装。它包括服装本体(1)，其特点是：所述服装本体(1)的帽沿嵌有LED装置(2)，所述服装本体(1)的帽子里嵌有带开关的电源模块(3)，所述LED装置(2)与所述带开关的电
【摘要】 本发明公开了一种氧化物刻蚀方法及设备，所述方法包括以下步骤：S1、测量刻蚀设备腔体中电子载台上掩避环的缺失厚度，判断缺失厚度是否小于系统设置阈值，若是，执行步骤S2，若否，更换新的电子载台后执行步骤S2；S2、将晶圆放置于刻蚀设备腔体中的电子载台上；S3、开启刻蚀设备，通入刻蚀气体，产生等离子轰击晶圆，完成刻蚀。本发明通过对电子载台上的缺陷厚度进行监控，当缺失厚度达到一定值时，更换新的电子载台，有效地控制了晶圆表面的缺陷数量。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210288282.0 【申请日】2012-08-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103594309A 【公开公告日】2014-02-19 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01J37/244; H01J37/32 【发明人】陈亚威 【主权项内容】一种氧化物刻蚀方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、测量刻蚀设备腔体中电子载台上掩避环的缺失厚度，判断缺失厚度是否小于系统设置阈值，若是，执行步骤S2，若否，更换新的电子载台后执行步骤S2；S2、将晶圆放置于刻蚀设备腔体中的电子载台上；S3、开启刻蚀设备，通入刻蚀气体，产生等离子轰击晶圆，完成刻蚀。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2
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