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一种高稳定长寿命气体离子源专利

时间:2026-09-26    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公布了一种高稳定长寿命气体离子源的新结构。在该结构中,波导采用脊波导设计,脊波导外围加磁场。与波导连接的微波窗位于离子源的中上部,微波窗下端高于离子源的中心,微波窗上面有一个高压电子发射装置,用于产生电子使离子源更容易产生稳定的等离子体。这一独特设计使ECR离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波窗的破坏,从而提高ECR离子源寿命,使其连续工作寿命在一年以上,达到工业生产设备长期稳定运行的条件。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡慧明电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201210355895.1 【申请日】2012-09-24 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681178A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01J27/02; H01J27/18 【发明人】袁萍 【主权项内容】一种单电荷态微波气体离子源,包括波导(1)、放电室(8)、励磁线圈(6)、真空室(10)、电子点火装置(15)、加速电极(12)等几部分,其中波导(1)通过微波窗(5)同放电室(8)一端相连,放电室(8)周围缠绕励磁线圈(6),另一端的离子出口(11)与真空室相连,在离子束的引出通道上设置加速电极(12),其特征在于:所述微波窗为圆形陶瓷微波窗,微波窗位于离子源放电室中线的上方。。 【当前权利人】无锡慧明电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320205585595002P 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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