【摘要】本发明提供了一种可抗噪声干扰的高侧栅驱动电路,主要包括可抗共模噪声干扰的高压电平位移电路,脉冲滤波电路,RS触发器,输出驱动级电路,其中,可抗共模噪声干扰的高压电平位移电路将低侧的脉冲产生信号转换成高侧的高压脉冲信号,并消除在应用中
【摘要】 本发明公布了一种高稳定长寿命气体离子源的新结构。在该结构中,波导采用脊波导设计,脊波导外围加磁场。与波导连接的微波窗位于离子源的中上部,微波窗下端高于离子源的中心,微波窗上面有一个高压电子发射装置,用于产生电子使离子源更容易产生稳定的等离子体。这一独特设计使ECR离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波窗的破坏,从而提高ECR离子源寿命,使其连续工作寿命在一年以上,达到工业生产设备长期稳定运行的条件。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡慧明电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201210355895.1 【申请日】2012-09-24 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681178A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01J27/02; H01J27/18 【发明人】袁萍 【主权项内容】一种单电荷态微波气体离子源,包括波导(1)、放电室(8)、励磁线圈(6)、真空室(10)、电子点火装置(15)、加速电极(12)等几部分,其中波导(1)通过微波窗(5)同放电室(8)一端相连,放电室(8)周围缠绕励磁线圈(6),另一端的离子出口(11)与真空室相连,在离子束的引出通道上设置加速电极(12),其特征在于:所述微波窗为圆形陶瓷微波窗,微波窗位于离子源放电室中线的上方。。 【当前权利人】无锡慧明电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320205585595002P 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5
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