【摘要】 本发明提出了一种针对微机电集成系统的内建自测试系统，包括：伪随机数字测试激励信号产生器的输出端依次连接数字测试激励与模拟激励信号转换器、电激励信号与机械激励转换器，电激励信号与机械激励转换器的输出作用到待测机械部件，所述待测机械部件的物理测试响应再依次连接到机械响应与模拟响应转换器、模拟响应与数字响应转换器，所述模拟响应与数字响应转换器的输出端和伪随机数字测试激励信号产生器的输出端连接到期望响应比较器，若系统报错，将实际的测试响应序列发送至片外以供故障诊断使用。本发明充分利用了内建自测试方案的优势，实现了提高微机电集成系统测试质量、降低测试成本，并为其提供实时检测的功能。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏物联网研究发展中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210360676.2 【申请日】2012-09-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102879729B 【公开公告日】2014-09-24 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102879729B 【授权公告日】2014-09-24 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01R31/3167 【发明人】李佳; 王玮冰 【主权项内容】针对微机电集成系统的内建自测试系统，其特征是，包括：伪随机数字测试激励信号产生器、数字测试激励与模拟激励信号转换器、电激励信号与机械激励转换器、机械响应与模拟响应转换器、模拟响应与数字响应转换器、期望响应比较器；所述伪随机数字测试激励信号产生器的输出端依次连接数字测试激励与模拟激励信号转换器、电激励信号与机械激励转换器，电激励信号与机械激励转换器的输出作用到待测机械部件，所述待测机械部件的物理测试响应再依次连接到机械响应与模拟响应转换器、模拟响应与数字响应转换器，所述模拟响应与数字响应转换器的输出端和伪随机数字测试激励信号产生器的输出端连接到期望响应比较器；首先利用伪随机数字测试激励信号产生器生成数字测试激励序列，然后通过数模转换、电信号与物理信号转换转化为物理测试激励，应用于待测机械部件后得到物理测试响应，然后将物理测试响应通过物理信号与电信号转换、模数转换为数字测试响应序列，最后将实际的数字测试响应序列与伪随机序列产生器生成的数字测试激励序列一起发送至期望响应比较器获得待测系统的测试判定结果；若系统报错，将实际的测试响应序列发送至片外以供故障诊断使用。 【当前权利人】江苏物联网研究发展中心 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 【统一社会信用代码】1232020046637256X7 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】8

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