【摘要】一种微机电系统薄片，包括硅衬底层、第一氧化层及第一薄膜层；所述硅衬底层包括用于微机电工艺的正面及与所述正面相对的背面，所述正面及所述背面均为抛光面；所述第一氧化层主要成分为二氧化硅，形成于所述硅衬底层的背面；所述第一薄膜层主要成分为

【摘要】本发明公开了一种自重式软接触传导装置，用于传导硅片，所述自重式软接触传导装置包括滚动接触于所述硅片下表面的从动下滚轮和滚动接触于所述硅片上表面的主动上滚轮，所述主动上滚轮受自重力作用在所述硅片的上表面滚动接触并上下自由浮动。本发明具

【摘要】本发明提出了用于半导体晶圆制造过程中的氧化扩散工艺的挡片舟组件。其中，所述挡片舟组件包括挡片基座和至少一个挡片，所述挡片基座实质上是长方体的形状并且具有至少一个插槽，所述挡片是圆片的形式，其中，在使用时，将所述至少一个挡片插入到所述

【摘要】本发明涉及一种耐高温型纸基材料，特别是一种耐高温型离型纸及其制备方法。先将无机耐高温助剂、增湿强剂和无机耐高温助剂与浆料在纤维分离器中进行充分分散，得到的浆料在抄片机上抄出纸页，再进行压榨，再进行真空干燥，然后进行纸页表面施胶，再采

【摘要】本发明涉及一种高机械感度的无击发药装药的制备方法，特别涉及一种用于射钉器的、无击发药无壳的射钉弹，属于射钉固定技术领域。其选用细断度小，含水率高的高硝化度的纤维素硝酸酯经安定处理后作为装药的基料，采用高粘、特高粘的纤维素醚配置成水溶

【摘要】本发明涉及一种拉花型铆钉自动制钉机复合模，包括模座、模芯、模盖及弹簧；模座座体的一端开有十字槽，其另一端设置有定位槽，十字槽底部的四个外端分别设置有凹槽，各个凹槽内分别设置有弹簧孔，弹簧的一端装入弹簧孔内；模芯有四个，分别镶嵌在十字