【摘要】本发明涉及一种可固定于桌面并适用于不同大小桌面的发光织物新型桌布。包括桌布本体(1)，所述桌布本体(1)朝着桌面的一侧缝制有绑带(2)，所述绑带(2)至少包括第一绑带(21)及第二绑带(22)，所述第一绑带(21)、第二绑带(22)
【摘要】 本发明涉及一种半导体器件中氧化层的形成方法，包括下列步骤：在晶圆的有源区上形成氧化层；在所述氧化层上涂覆光刻胶，并进行曝光、显影处理后形成光刻胶阻挡层；以所述光刻胶阻挡层为掩膜，向所述有源区内进行离子注入；使用氢氟酸溶液对所述氧化层进行蚀刻。本发明采用稀氢氟酸溶液对氧化层进行蚀刻，由于稀氢氟酸溶液对硅的腐蚀速率较小，因此蚀刻过后不易在氧化层下的离子注入区域产生硅孔缺陷，提高了产品的良率。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210193672.X 【申请日】2012-06-12 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103489774A 【公开公告日】2014-01-01 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103489774B 【授权公告日】2017-05-31 【授权公告年份】2017.0 【IPC分类号】H01L21/311; H01L21/8247 【发明人】陈亚威; 屈亚东 【主权项内容】一种半导体器件中氧化层的形成方法，包括下列步骤：在晶圆的有源区上形成氧化层；在所述氧化层上涂覆光刻胶，并进行曝光、显影处理后形成光刻胶阻挡层；以所述光刻胶阻挡层为掩膜，向所述有源区内进行离子注入；使用氢氟酸溶液对所述氧化层进行蚀刻。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】5.0 【被引证次数】1 【他引次数】5.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】1
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