【摘要】本发明涉及一种可拆装领子的织物结构加强短袖，包括短袖本体(1)，所述短袖本体(1)的领口处设有可拆装的领子(2)，所述领子(2)和短袖本体(1)为按扣连接或拉链连接，所述领子和短袖由织物制成，所述织物包括至少两种原料纱，其中一种为氨
【摘要】 一种微机电系统薄片，包括硅衬底层、第一氧化层及第一薄膜层；所述硅衬底层包括用于微机电工艺的正面及与所述正面相对的背面，所述正面及所述背面均为抛光面；所述第一氧化层主要成分为二氧化硅，形成于所述硅衬底层的背面；所述第一薄膜层主要成分为氮化硅，形成于所述第一氧化层表面。上述微机电系统薄片中，通过在硅衬底层的背面依次层叠第一氧化层及第一薄膜层，有效保护了背面，防止其在进行微机电工艺过程中划伤。同时还提供了一种微机电系统薄片的制备方法。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210234964.3 【申请日】2012-07-06 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103523738A 【公开公告日】2014-01-22 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103523738B 【授权公告日】2016-07-06 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B81B7/00; B81C1/00 【发明人】代丹; 张新伟; 周国平; 夏长奉 【主权项内容】一种微机电系统薄片，其特征在于，包括：硅衬底层，包括用于微机电工艺的正面及与所述正面相对的背面，所述正面及所述背面均为抛光面；第一氧化层，其主要成分为二氧化硅，形成于所述硅衬底层的背面；第一薄膜层，其主要成分为氮化硅，形成于所述第一氧化层表面。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】4.0 【被引证次数】4 【他引次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】26.0 【家族被引证次数】5
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