【摘要】 压电驻极体薄膜的制备方法，包括(1)将聚合物溶液涂覆在具有凸起的模板上干燥；干燥后将模板移除得到具有凹坑的第一聚合物膜；(2)将干燥后的第一聚合物膜与第二聚合物膜结合形成空腔；以及(3)通过极化使空腔内相对表面分布相反电荷，形成压电驻极体薄膜。一种通过上述方法制备的压电驻极体薄膜。一种压电驻极体薄膜，包括具有凹坑的第一聚合物膜层(1)，结合在第一聚合物膜层(1)的具有凹坑的表面上的第二聚合物膜层(3)，在两者之间形成的空腔(2)，以及通过极化形成分布于空腔表面的相反电荷；其中凹坑的形成是通过将聚合物溶液涂覆在具有凸起的模板上实现的。 【专利类型】发明申请 【申请人】纳米新能源(唐山)有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】063009 河北省唐山市高新技术开发区建设北路101号高科总部大厦1001室 【申请人地区】中国 【申请人城市】唐山市 【申请人区县】路北区 【申请号】CN201210319286.0 【申请日】2012-08-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103682083A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L41/45; H01L41/083 【发明人】范凤茹; 刘军锋 【主权项内容】一种压电驻极体薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将聚合物溶液涂覆在具有凸起的模板上，之后进行干燥；干燥后将模板移除得到具有凹坑的第一聚合物膜；(2)将步骤(1)干燥后的至少一个第一聚合物膜与第二聚合物膜结合形成空腔；以及(3)通过极化使步骤(2)形成的空腔内上下表面分布相反电荷，从而形成压电驻极体薄膜。。 【当前权利人】纳米新能源(唐山)有限责任公司 【当前专利权人地址】河北省唐山市高新技术开发区建设北路101号高科总部大厦1001室 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】911302005869460115 【引证次数】7.0 【被引证次数】16 【他引次数】7.0 【被他引次数】16.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】16

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