【摘要】 本发明公开了一种扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1)按体积比在150∶1∶1～5∶1∶1向扩散用炉管中通入氮气、携源氮气和氧气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中含有氯离子；2)停止通入氮气、携源氮气和氧气，完成清洗。应用本发明的技术方案，采用Cl-对扩散用炉管进行清洗，氯离子极易和金属离子结合，结合后将金属离子带出炉管，这样就将炉管金属离子清洗干净，不用拆卸炉管，避免了炉管(石英器件)在拆卸过程中造成损坏。 【专利类型】发明授权 【申请人】英利能源(中国)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 【申请人地区】中国 【申请人城市】保定市 【申请人区县】竞秀区 【申请号】CN201210304062.2 【申请日】2012-08-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102825036B 【公开公告日】2014-12-24 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102825036B 【授权公告日】2014-12-24 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B08B9/027 【发明人】崔景光; 马继奎; 刘旭; 赵易坤 【主权项内容】一种扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按体积比在150：1：1～5：1：1向扩散用炉管中通入氮气、携源氮气和氧气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中含有氯离子；2)停止通入所述氮气、携源氮气和氧气，完成清洗；所述步骤1)包括：将所述炉管内的温度升至900～960℃，将氧气、氮气、携带有三氯氧磷的携源氮气通入所述炉管对所述炉管进行清洗。 【当前权利人】英利能源(中国)有限公司 【当前专利权人地址】河北省保定市朝阳北大街3399号 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91130600667708103C 【引证次数】7.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】11

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1790986505.html