【摘要】一种光学邻近矫正装置和矫正方法，通过在现有的矫正装置中加入图形预处理模块，对关键器件图形和虚拟器件图形进行叠加处理，并判断出是否存在重叠错误，从而避免了现有技术中由于该重叠错误的判断程序而导致的光刻版错误或报废问题，大大节省了工艺时

【摘要】本发明公开了一种双极结型晶体管及其制作方法。该双极结型晶体管，包括：第一导电型底阱区；位于第一导电型底阱区上的第二导电型阱区；分别位于第二导电型阱区两侧且在所述第一导电型底阱区上的第一导电型阱区；位于第二导电型阱区上的第一导电型发射

【摘要】本发明提供一种沉积成膜装置中所使用的晶圆固定装置，属于薄膜沉积技术领域。该晶圆固定装置，其包括：定位环、压片环和用于压片环弹性地固定在所述定位环上弹性固定部件；其中，在所述压片环的相向于所述晶圆的表面上设置有多个压片点，所述压片点作

【摘要】本发明涉及一种净化空气香，采用以下工艺步骤制备：(1)将榆粉、芦荟、仙人球、金虎、吊兰、绿萝、常青藤和菊花打磨成粉末，过筛选网进行筛选；将筛选后的原料混合搅拌，备用；(2)草药汤的制备：向烧开的水中放入芦荟、仙人球、金虎、吊兰、绿萝

【摘要】本发明涉及电化学电池中使用的电极材料，具体涉及一种氟化石墨复合的二次锂电池正极材料磷酸铁锂的制备方法，属于锂电池正极材料技术领域。其先将锂盐、铁盐、磷源和碳源与氟化石墨混料均匀，然后将混合物放入隋性气体保护炉中预烧，然后再煅烧，随后

【摘要】本发明涉及一种基于最优权重和C2GS2模型的高校创新创业能力评价排序细化方法，尤其能从相对效率的角度上进行分析。包括一个基于C2R模型的针对决策DEA有效或弱DEA有效的判断方法、基于C2GS2模型的针对决策DEA有效或弱DEA有效