【摘要】 一种光学邻近矫正装置和矫正方法，通过在现有的矫正装置中加入图形预处理模块，对关键器件图形和虚拟器件图形进行叠加处理，并判断出是否存在重叠错误，从而避免了现有技术中由于该重叠错误的判断程序而导致的光刻版错误或报废问题，大大节省了工艺时间，降低了工艺成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210261737.X 【申请日】2012-07-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103576442A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103576442B 【授权公告日】2016-05-11 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】G03F1/36 【发明人】陈洁; 王谨恒; 万金垠; 张雷 【主权项内容】一种光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述光学邻近效应矫正装置包括一图形预处理模块，该图形预处理模块包括图形叠加单元、输出单元和判断单元，所述图形叠加单元对一关键器件图形和一虚拟器件图形进行叠加并将叠加图形通过所述输出单元输出给所述判断单元。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】5.0 【被引证次数】3 【他引次数】5.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】3

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