【摘要】一种微机电系统薄片,包括硅衬底层、第一氧化层及第一薄膜层;所述硅衬底层包括用于微机电工艺的正面及与所述正面相对的背面,所述正面及所述背面均为抛光面;所述第一氧化层主要成分为二氧化硅,形成于所述硅衬底层的背面;所述第一薄膜层主要成分为
【摘要】 本发明公开了一种连铸用定径水口的制备方法,该定径水口的原料以重量分数计由下列组份组成:0.5-5μm单斜氧化锆26-28份,6μm-25μm单斜氧化锆38-42份,26-60μm单斜氧化锆16-18份,氧化镁稳定氧化锆6-8份,ZrO2-Al2O3复合材料4-6份,所述制备方法包括如下步骤:1)ZrO2-Al2O3复合材料制备;2)制备氧化镁稳定氧化锆;3)混合研磨,等静压成型并干燥;4)在1740℃-1760℃条件下分两步烧结,先在1740℃条件下烧结2小时,然后随炉冷却至1300℃以下,产生内部微裂纹,再升温至1760℃,烧结4-5h即得。 微信 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡申佳液压科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214100 江苏省无锡市锡山区锡北镇工业园区无锡申佳液压科技有限公司 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201210406024.8 【申请日】2012-10-22 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103771853A 【公开公告日】2014-05-07 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C04B35/482; C04B35/66; C04B35/622 【发明人】沈志坚 【主权项内容】一种连铸用定径水口的制备方法,其特征在于,该定径水口的原料以重量分数计由下列组份组成:0.5-5μm单斜氧化锆26-28份,6μm-25μm单斜氧化锆38-42份,26-60μm单斜氧化锆16-18份,氧化镁稳定氧化锆6-8份,ZrO2-Al2O3复合材料4-6份,所述制备方法包括如下步骤:1)ZrO2-Al2O3复合材料制备:按重量百分比取ZrOCl2.8H2O∶Al(NO3)3.9H2O=90∶10,制备母液,母液浓度1.0-2.0Mol/L,加入物料总重量1.2%的分散剂,NH4OH正滴定,搅拌至pH=7-10,制得复合凝胶;将复合凝胶陈化18h-24h,0.095MPa真空吸滤,去离子水洗涤至硝酸银检测不到Cl-为止;然后在500℃条件下反应2h,温度升至700℃,反应10h,反应完成后脱胶,制得ZrO2-Al2O3复合材料,其中氧化锆含量大于70%;2)制备氧化镁稳定氧化锆:按氧化镁3%的比例采用常规方法制备氧化镁稳定氧化锆;3)将第1)步制备的ZrO2-Al2O3复合材料和第2)步制备的氧化镁稳定氧化锆以及单斜氧化锆按照粒度及含量配比混合,共磨18-22小时,等静压成型,120-130℃条件下干燥24h;4)在1740℃-1760℃条件下分两步烧结,先在1740℃条件下烧结2小时,然后随炉冷却至1300℃以下,产生内部微裂纹,再升温至1760℃,烧结4-5h即得。 【当前权利人】无锡申佳液压科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山区锡北镇工业园区无锡申佳液压科技有限公司 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320205699322678Q 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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