【摘要】一种常温保藏的菜肴式方便食品碗状包装酸菜鱼的加工方法，属于水产食品加工与保藏技术领域。本发明以鲜活鱼和酸菜为主要原料，经原料预处理、脱腥嫩化、油炸发色、调味、调酸、装罐、封口、低强度杀菌和快速冷却工艺制成常温保藏的菜肴式方便食品碗状
【摘要】 本发明提供了一种具有场终止结构的IGBT背面多晶硅保护层的去除方法。该方法包括热氧化在所述IGBT背面的多晶硅保护层直到氧化终止于位于所述多晶硅保护层之上的栅氧层以形成二氧化硅层，以及利用干法刻蚀去除所形成的二氧化硅层以及栅氧层。本发明所述的保护层去除方法更易于控制。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210260773.4 【申请日】2012-07-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103578972A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103578972B 【授权公告日】2016-06-29 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/311; H01L21/331 【发明人】芮强; 张硕; 王根毅; 邓小社 【主权项内容】1.一种具有场终止结构的IGBT背面多晶硅保护层的去除方法，其特征在于，所述方法包括： 热氧化所述IGBT背面的多晶硅保护层，直到氧化终止于位于所述多晶硅保护层之上的栅氧层，以形成二氧化硅层；及 利用干法刻蚀去除所形成的二氧化硅层以及栅氧层。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】4.0 【被引证次数】1 【他引次数】4.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】1
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