【摘要】本发明公开了一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置。旋转滚子密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由内构件、外构件、端盖和滚子组成。在光刻扫描过程中,浸没液体伴随衬底高速运动的牵拉作用,将产生与衬底运动方向一致的液体流动。该装置采
【摘要】 本发明公开了一种CoSb3/石墨烯复合材料,由纳米级CoSb3颗粒和石墨烯组成。由于石墨烯的分散、承载及隔离作用,可有效提阻止纳米CoSb3颗粒在热处理过程中的烧结,以保持纳米晶对声子的有效散射,对提高CoSb3材料的热电性能具有重大意义,该复合材料可作为热电材料。本发明还公开了该复合材料的一步水热法或一步溶剂热法的制备方法,具有工艺简单、成本低、周期短、能耗低等优点。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210254832.7 【申请日】2012-07-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102760830B 【公开公告日】2014-12-17 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102760830B 【授权公告日】2014-12-17 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L37/02 【发明人】谢健; 屠芳芳; 刘双宇; 朱铁军; 曹高劭; 赵新兵 【主权项内容】一种CoSb3/石墨烯复合材料在作为热电材料中的应用,其特征在于,所述的CoSb3/石墨烯复合材料由纳米级CoSb3颗粒和石墨烯组成;所述的复合材料中石墨烯的重量百分含量为0.1%~2%;所述的纳米级CoSb3颗粒的直径为10纳米~20纳米;所述的复合材料中纳米级CoSb3颗粒呈均匀分散;所述的CoSb3/石墨烯复合材料的制备方法包括以下步骤:1)以含钴的化合物和含锑的化合物为原料,按照CoSb3的化学计量比混合于去离子水或有机溶剂中,得到以CoSb3计浓度为0.015mol/L~0.15mol/L的混合溶液;2)在步骤1)的混合液中加入氧化石墨烯经充分超声分散后再加入还原剂,然后于密封环境中在100℃~250℃反应12小时~72小时后冷却,收集固体产物,经去离子水和无水乙醇交替反复洗涤,干燥,得到CoSb3/石墨烯复合材料;所述的氧化石墨烯的加入量为CoSb3理论重量的0.4%~5%;所述的还原剂的加入量由两部分核算,按以下方法确定:每摩尔CoSb3加入12摩尔~18摩尔还原剂,每克氧化石墨烯再加入0.2摩尔~1摩尔还原剂。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】9.0 【自引次数】1.0 【他引次数】8.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】14
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