【摘要】 本发明涉及气相色谱仪检测设备和检测技术，尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统及方法。切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅡ(2)之间设有第一分子筛色谱柱(51)；切换阀VⅡ(2)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二分子筛色谱柱(52)；切换阀VⅢ(3)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二柱子分离器(62)。采用样品气二次的进样方式，主体成份在十通切换阀VⅠ(1)第一次进样预切与第二次进样反吹；再分离后切换进入氦离子检测器(8)分析。本发明通过各阀来控制，其动作的阶次也由事件编制程序执行，整体分析过程自动化控制，动作快速一致可靠，系统的数据重复性与准确性由稳定的流量气路和准确无误的阀切换来保证。 【专利类型】发明授权 【申请人】杭州克柔姆色谱科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】310012 浙江省杭州市西湖区古翠路80号浙江科技产业大厦10楼1016室 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210115679.X 【申请日】2012-04-19 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102628846B 【公开公告日】2014-04-23 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102628846B 【授权公告日】2014-04-23 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01N30/88 【发明人】李聪 【主权项内容】超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括载1、载2、载3、载4气路，切换阀VⅠ(1)以及切换阀VⅡ(2)、切换阀VⅢ(3)和切换阀VⅣ(4)，其特征在于：切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅡ(2)之间设有第一分子筛色谱柱(51)；切换阀VⅡ(2)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二分子筛色谱柱(52)；切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅢ(3)之间设有针阀(9)，切换阀VⅢ(3)与切换阀VⅣ(4)之间设有第二柱子分离器(62)，载3气路与切换阀VⅡ(2)的③号接口连接；第二分子筛色谱柱(52)的一端与切换阀VⅡ(2)的②号接口连接，另一端与切换阀VⅣ(4)的③号接口连接；切换阀VⅡ(2)的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅡ(2)的⑥号接口与调节阀A(71)连接；载1气路与切换阀VⅠ(1)的④号接口连接、载2气路与切换阀VⅠ(1)的⑦号接口连接；样品进口与切换阀VⅠ(1)的①号接口连接，样品出口与切换阀VⅠ(1)的②号接口连接，切换阀VⅠ(1)的⑩号接口与③号接口通过管路连接，该管路上还设有定量管(12)；载1气路与切换阀VⅠ(1)的④号接口连接，切换阀VⅠ(1)的⑤号接口与⑨号接口连接的管路上设有第一柱子分离器(61)；针阀(9)的上端与切换阀VⅠ(1)的⑧号接口连接，下端与切换阀VⅢ(4)的①号接口连接；载2气路与切换阀VⅠ(1)的⑦号接口连接；第一分子筛色谱柱(51)的一端与切换阀VⅠ(1)的⑥号接口连接，另一端与切换阀VⅡ(2)的①号接口连接；载4气路与切换阀VⅢ(3)的③号接口连接；切换阀VⅢ(3)的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅢ(3)的⑥号接口与调节阀B(72)连接；第二柱子分离器(62)的一端与切换阀VⅢ(3)的②号接口连接，另一端与切换阀VⅣ(4)的①号接口连接；切换阀VⅣ(4)的②号接口与氦离子检测器(8)连接，切换阀VⅣ(4)的④号接口与⑤号接口通过管路连接，切换阀VⅣ(4)的⑥号接口与调节阀C(73)连接。 【当前权利人】杭州克柔姆色谱科技有限公司 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区古翠路80号浙江科技产业大厦10楼1016室 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913301065605525167 【引证次数】7.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被自引次数】2.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】14

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