【摘要】 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置。旋转滚子密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置，由内构件、外构件、端盖和滚子组成。在光刻扫描过程中，浸没液体伴随衬底高速运动的牵拉作用，将产生与衬底运动方向一致的液体流动。该装置采用旋转滚子密封结构，通过动态调节滚子的旋转速度与方向，使得外围浸没液体获得抵抗衬底运动带来的流动。本发明可有效抵抗衬底牵拉运动产生的向外泄漏动能，在结合外围气体密封下进一步增强抑制液体泄漏的能力；此外本发明在浸没液体边界处可有效抵抗密封气体带来的冲击压力，并抑制气密封压力过大导致的液体边界气泡卷吸，从而有助于实现浸没流场密封的可靠性与稳定性。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210403590.3 【申请日】2012-10-22 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102902166B 【公开公告日】2014-09-10 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102902166B 【授权公告日】2014-09-10 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G03F7/20 【发明人】傅新; 刘琦; 陈文昱 【主权项内容】一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置，包括投影透镜组(1)、旋转滚子密封装置和衬底(3)，旋转滚子密封装置设置在投影透镜组(1)和衬底(3)之间；其特征在于：所述的旋转滚子密封装置(2)包括内构件(2A)、外构件(2B)、端盖(2C)和滚子(2D)；其中：1)内构件(2A)：内构件(2A)为正多边形环状柱体，共有6~10个外侧面，每外侧面均开有包络滚子(2D)的弧面(4A)，环状柱体中心开有阶梯形孔，环状柱体上表面周边与中心大阶梯孔形成环状凸台(5A)，环状凸台(5A)外侧为环形槽；2)外构件(2B)：外构件(2B)为正多边形环状柱体，有与内构件(2A)正多边形环状柱体外侧面相应的内侧面，外构件(2B)内侧面与内构件(2A)的外侧面对应开有包络滚子(2D)的弧面(4B)，外构件(2B)上面在靠近弧面(4B)的周边开有环状凸台(5B)，在环状凸台(5B)外的外构件(2B)圆周方向开有等距布置的10~20个环形注气通孔(6B)；3)端盖(2C)：端盖(2C)为环状柱体，贯穿端盖(2C)上下表面开有8~16个环形回气通孔(4C)，端盖(2C)底面分别于内构件(2A)的环状凸台(5A)和外构件(2B)的环状凸台(5B)紧固连接在一起形成回气腔(6C)，回气通孔(4C)位于回气腔(6C)的正上方，回气腔(6C)内填充吸水性多孔介质(8)，端盖(2C)中心孔与内构件(2A)中心阶梯孔连通；4)滚子(2D)：滚子(2D)为圆柱体，每个滚子部分包络在内构件(2A)的弧面(4A)和外构件(2B)的弧面(4B)之间，每个滚子(2D)未包络部分的一侧露在内构件(2A)和外构件(2B)下表面外，每个滚子(2D)未包络部分的另一侧露在回气腔(6C)内。 【当前权利人】浙江启尔机电技术有限公司 【当前专利权人地址】浙江省杭州市临安区青山湖街道励新路99号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】8.0 【自引次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】2

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