【摘要】本发明公开了一种常压下制备垂直石墨烯双电层电容器电极的装置和方法。装置包括石英管、加热炉、集流体、针形电极、高压负电电源、惰性气体入口、氢气入口、鼓泡瓶和碳源气体入口;集流体和针形电极布置在石英管内,针形电极外接高压负电电源,针形电
【摘要】 本发明公开了一种基于PNP型三极管辅助触发的双向可控硅器件,包括P衬底层和四个PNP型三极管;P衬底层上设有第一N阱、P阱和第二N阱;第一N阱上设有第一N+有源注入区、第一P+有源注入区和第二N+有源注入区;第二N阱上设有第三N+有源注入区、第二P+有源注入区和第四N+有源注入区;第三N+有源注入区与第二PNP型三极管相连,第一PNP型三极管与第一金属电极相连;第二N+有源注入区与第三PNP型三极管相连,第四PNP型三极管与第二金属电极相连。本发明可控硅器件利用PNP型三极管作为辅助触发单元,使得器件具有可调且较低的正反向击穿电压,使得器件可适用于一些混合电压接口电路的ESD防护应用。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210060567.9 【申请日】2012-03-09 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102544068B 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102544068B 【授权公告日】2014-01-15 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L29/06; H01L29/74 【发明人】郑剑锋; 韩雁; 马飞; 董树荣; 吴健; 苗萌; 曾杰 【主权项内容】一种基于PNP型三极管辅助触发的双向可控硅器件,其特征在于,包括:P衬底层(10)和四个PNP型三极管;所述的P衬底层(10)上从左到右依次设有第一N阱(21)、P阱(23)和第二N阱(22),所述的P阱(23)与第一N阱(21)和第二N阱(22)并排相连;所述的第一N阱(21)上从左到右依次并排设有第一N+有源注入区(41)、第一P+有源注入区(51)和第二N+有源注入区(42);所述的第二N阱(22)上从左到右依次并排设有第三N+有源注入区(43)、第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44);所述的第一N+有源注入区(41)与第一P+有源注入区(51)、第一P+有源注入区(51)与第二N+有源注入区(42)、第二N+有源注入区(42)与第三N+有源注入区(43)、第三N+有源注入区(43)与第二P+有源注入区(52)或第二P+有源注入区(52)与第四N+有源注入区(44)通过浅槽(3)隔离;所述的第一N+有源注入区(41)和第一P+有源注入区(51)通过第一金属电极(61)相连,所述的第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44)通过第二金属电极(62)相连;所述的第三N+有源注入区(43)与第二PNP型三极管的发射极和基极相连,第一PNP型三极管的集电极和基极与第一金属电极(61)相连;所述的第二N+有源注入区(42)与第三PNP型三极管的发射极和基极相连,第四PNP型三极管的集电极和基极与第二金属电极(62)相连;第一PNP型三极管的发射极与第二PNP型三极管的集电极相连,第三PNP型三极管的集电极与第四PNP型三极管的发射极相连。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】4.0 【自引次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】7
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