【摘要】 本发明公开了一种具有温度稳定性的光波导谐振腔技术。在光波导芯片本体上设有输入/输出光通路与谐振环；输入/输出光通路的两端位于光波导芯片本体的边缘；输入/输出光通路与谐振环通过输入/输出耦合器相连，构成光波导谐振腔；光波导芯片本体上设有上包层和下包层，上包层的材料为负热光系数材料，负热光系数材料为含氟丙烯酸酯共聚物。谐振环上还可刻蚀倾斜波导光栅，倾斜波导光栅的填充介质也为含氟丙烯酸酯共聚物。本发明改善了光波导谐振腔的温度特性，降低了其对谐振伺服回路性能的要求，能够应用在谐振式光学陀螺等其他领域，具有重要的科学意义与应用价值。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210103521.0 【申请日】2012-04-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102645214B 【公开公告日】2014-12-31 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102645214B 【授权公告日】2014-12-31 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01C19/66 【发明人】马慧莲; 陈振; 金仲和 【主权项内容】一种具有温度稳定性的光波导谐振腔，其特征在于在光波导芯片(15)本体上设有输入/输出光通路(16)与谐振环(17)；输入/输出光通路(16)的两端位于光波导芯片(15)的边缘；输入/输出光通路(15)与谐振环(17)通过输入/输出耦合器(19)相连，构成反射式光波导谐振腔；谐振环(17)上刻蚀有倾斜波导光栅(18)，倾斜波导光栅(18)反射界面与光线传输方向成大于0度小于90度的夹角、刻蚀深度大于零且小于光波导芯片(15)芯层厚度的波导光栅，光波导芯片(15)本体上设有上包层和下包层，上包层的材料和倾斜波导光栅(18)的填充介质为负热光系数的材料构成，负热光系数的材料为含氟丙烯酸酯共聚物。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】7

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