【摘要】本发明公开了一种防金属离子污染的硅片烘干炉及硅片烘干方法,烘干炉包括炉体、设在炉体内的加热装置、硅片传送装置和控制单元,炉体内壁为石英板,加热装置包括石英管远红外加热灯,硅片传送装置包括多条硅片平置轨道和相应传送机构,传送机构为往复
【摘要】 本发明公开了一种谐振式光学陀螺的复位锁定方法及其装置。激光器的可调谐电压范围为[Vmin, Vmax],激光器反馈电压的设定阈值上限和下限分别为VT-max和VT-min,阈值电压的上限VT-max小于激光器的可调谐电压的上限Vmax,阈值电压的下限VT-min大于可调谐电压的下限Vmin,当激光器的反馈电压超过设定的阈值上限VT-max时,激光器的反馈电压下降p×VFSR,其中p为整数,VFSR是谐振腔自由谱宽对应的调谐电压范围;当激光器的反馈电压低于设定的阈值下限VT-min时,激光器的反馈电压上升p×VFSR。本发明提供的谐振式光学陀螺的复位锁定方法和装置,简单有效,不增加额外的硬件负担,从软件上解决了谐振式光学陀螺无法在全温范围内锁定的问题,使得谐振式光学陀螺能在各种环境中长期稳定的工作。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210110119.5 【申请日】2012-04-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102636163B 【公开公告日】2014-09-17 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102636163B 【授权公告日】2014-09-17 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01C19/68 【发明人】金仲和; 俞旭辉; 马慧莲 【主权项内容】1.一种谐振式光学陀螺的复位锁定方法,其特征在于激光器的可调谐电压范围为[Vmin, Vmax],激光器反馈电压的设定阈值上限和下限分别为VT-max和VT-min,阈值电压的上限VT-max小于激光器的可调谐电压的上限Vmax,阈值电压的下限VT-min大于可调谐电压的下限Vmin,当激光器的反馈电压超过设定的阈值上限VT-max时,激光器的反馈电压下降p×VFSR,其中p为整数,VFSR是谐振腔自由谱宽对应的调谐电压范围;当激光器的反馈电压低于设定的阈值下限VT-min时,激光器的反馈电压上升p×VFSR。 1.一种谐振式光学陀螺的复位锁定方法,其特征在于激光器的可调谐电压范围为[Vmin, Vmax],激光器反馈电压的设定阈值上限和下限分别为VT-max和VT-min,阈值电压的上限VT-max小于激光器的可调谐电压的上限Vmax,阈值电压的下限VT-min大于可调谐电压的下限Vmin,当激光器的反馈电压超过设定的阈值上限VT-max时,激光器的反馈电压下降p×VFSR,其中p为整数,VFSR是谐振腔自由谱宽对应的调谐电压范围;当激光器的反馈电压低于设定的阈值下限VT-min时,激光器的反馈电压上升p×VFSR。。该数据由<>整理 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】4.0 【自引次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0
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