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镍酸镧陶瓷靶材的制备技术专利

时间:2026-10-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种金属氧化物陶瓷靶材的制备技术,尤其是镍酸镧金属氧化物陶瓷靶材的制备技术,该发明首先用传统固相反应法制备出高纯度的LNO陶瓷粉体,经单项轴压成型,得到LNO生坯,经脱胶及烧结成型制备出LNO陶瓷靶材。本发明在煅烧粉体和靶材烧结过程中,充入氧气,使Ni2O3在升温过程中不易脱氧生成NiO而影响LNO陶瓷粉体的纯度,从而制备出纯度高的LNO陶瓷靶材。 【专利类型】发明申请 【申请人】河北联合大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】063009 河北省唐山市新华西道46号 【申请人地区】中国 【申请人城市】唐山市 【申请人区县】路北区 【申请号】CN201210316432.4 【申请日】2012-08-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103664170A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C04B35/50; C04B35/622 【发明人】董桂霞; 刘秋香; 冯冬梅 【主权项内容】一种镍酸镧陶瓷靶的制备技术,其特征在于该制备技术的具体步骤如下:(1)镍酸镧(LNO)粉体的制备①以La2O3、Ni2O3氧化物粉末为起始原料,使摩尔比为1∶1,以无水乙醇为介质球磨24h,将物料于80℃恒温干燥箱中干燥;②将混好的物料在空气或氧气气氛中煅烧,温度为800~950℃,保温6~10h,然后自然降温至室温,得到LNO粉体;(2)生坯的制备③将制得的LNO粉体进行单轴压制成型,制成直径为30mm厚为4mm的LNO生坯,压力为10MPa;(3)靶材的烧结④将成型的LNO陶瓷在400℃保温1h脱胶,之后在氧气气氛中1000~1200℃烧结4h,得到所需的靶材。 : 【当前权利人】河北联合大学 【当前专利权人地址】河北省唐山市新华西道46号 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2

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