【摘要】 本发明涉及一种柔性多参数传感器及其制造方法，属于柔性电子及传感器的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述柔性多参数传感器，包括柔性衬底，所述柔性衬底的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底上方的压力敏感层、湿度敏感层及温度敏感层，所述湿度敏感层覆盖于压力敏感层上，温度敏感层覆盖于湿度敏感层上，温度敏感层上覆盖有保护层；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口，所述接触窗口贯通探测敏感区内相应的保护层与温度敏感层，并延伸到湿度敏感层的表面。本发明结构简单，能够使用卷对卷印刷法大批量制造，能探测压力、相对湿度、温度信号，适用范围广，使用方便，安全可靠。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏物联网研究发展中心 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座4楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210265331.9 【申请日】2012-07-27 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102749157B 【公开公告日】2014-02-19 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102749157B 【授权公告日】2014-02-19 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01L1/00; G01N27/22; G01K7/16 【发明人】秦毅恒; 明安杰 【主权项内容】一种柔性多参数传感器，其特征是：包括柔性衬底(7)，所述柔性衬底(7)的上方设有探测敏感区，所述探测敏感区包括位于柔性衬底(7)上方的压力敏感层(6)、湿度敏感层(2)及温度敏感层(5)，所述湿度敏感层(2)覆盖于压力敏感层(6)上，温度敏感层(5)覆盖于湿度敏感层(2)上，温度敏感层(5)上覆盖有保护层(13)；探测敏感区内设有若干用于探测外界环境湿度的接触窗口(9)，所述接触窗口(9)贯通探测敏感区内相应的保护层(13)与温度敏感层(5)，并延伸到湿度敏感层(2)的表面。 【当前权利人】中科芯未来微电子科技成都有限公司 【当前专利权人地址】四川省成都市双流区东升街道成都芯谷产业园区(1号楼)集中区内 【统一社会信用代码】1232020046637256X7 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】23

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