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双面光刻机的对位结构及对位方法专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种双面光刻机的对位结构及对位方法,该对位标记包括“+”字型的主对位标记及若干对称设于主对位标记上下左右的辅助对位标记,所述“+”字型的主对位标记由水平主对位标记和垂直主对位标记垂直交叉形成,所述辅助对位标记为阶梯状,每个辅助对位标记由若干宽度相同、长度成等差数列的长方形组成。本发明通过采用“+”字型的主对位标记与主对位标记上下左右的辅助对位标记进行对位,有利于肉眼分辨对位位置,提供了对位精度,减少手动对位引起的误差,提高了生产效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210369733.3 【申请日】2012-09-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103713477A 【公开公告日】2014-04-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103713477B 【授权公告日】2015-11-25 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】G03F9/00; G03F7/20 【发明人】徐春云 【主权项内容】一种双面光刻机的对位结构,其特征在于,所述对位结构包括“+”字型的主对位标记及若干对称设于主对位标记上下左右的辅助对位标记,所述“+”字型的主对位标记由水平主对位标记和垂直主对位标记垂直交叉形成,所述辅助对位标记为阶梯状,每个辅助对位标记由若干宽度相同、长度成等差数列的长方形组成。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】18.0 【被引证次数】8 【自引次数】1.0 【他引次数】17.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】20.0 【家族被引证次数】8

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