【摘要】 本发明公开了一种用于控制等离子体增强化学气相沉积炉体温度的方法，预先设定温度目标值，实时采集炉体各个温区的实际温度，计算出与温度目标值的温度差值；根据该差值，通过模糊控制器控制炉体内的加热管的加热功率输出，以使得炉体各个温区的实际温度与温度目标值的偏差值小于预先设定的阈值，模糊控制器所采用的模糊控制决策包括温度偏差程度模糊规则，为针对实际的温度差值控制加热管的加热功率输出；当炉体各个温区的实际温度与温度目标值的偏差值小于预先设定的阈值后，启用增量型PID控制器控制加热管的加热功率输出。本发明的用于控制等离子体增强化学气相沉积炉体温度的方法，有效缩短开始加热工艺腔到达到工艺腔正常工艺时的时间。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210381992.8 【申请日】2012-10-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103726033A 【公开公告日】2014-04-16 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/52; C23C16/50 【发明人】吴晓松; 宋准 【主权项内容】一种用于控制等离子体增强化学气相沉积炉体温度的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：预先设定温度目标值，实时采集所述炉体各个温区的实际温度，并计算出与所述温度目标值的温度差值；S2：根据所述温度差值，通过模糊控制器控制所述炉体内的加热管的加热功率输出，以使得所述炉体各个温区的实际温度与所述温度目标值的偏差值小于预先设定的阈值，所述模糊控制器所采用的模糊控制决策包括温度偏差程度模糊规则，所述温度偏差程度模糊规则为针对实际的温度差值控制加热管的加热功率输出，温度差值越大，加热管的加热功率输出越大，温度差值越小，加热管的加工功率输出越小；S3：当所述炉体各个温区的实际温度与所述温度目标值的偏差值小于预先设定的阈值后，启用增量型PID控制器控制所述炉体内的加热管的加热功率输出。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN 【引证次数】6.0 【被引证次数】8 【他引次数】6.0 【被他引次数】8.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】8

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