【摘要】本发明涉及一种管连接盖，尤其是一种不易脱落的管连接盖，它包括包括盖帽(1)、紧箍条(2)和连接颈(3)，所述连接颈(3)和盖帽(1)固定连接，连接颈(3)上设置有紧箍条(2)。本发明一种不易脱落的管连接盖，其连接颈上设置有紧箍条，因
【摘要】 一种氮化钛薄膜制备方法，包括以下步骤：将衬底加热；通过物理气相沉积法在所述衬底上沉积制得氮化钛薄膜；其中，将所述衬底加热到的温度高于沉积时的反应温度。上述氮化钛薄膜制备方法中，先对衬底进行高温加热，使衬底被加热至较高温度，提高了衬底的温度，再对衬底在进行沉积得到的氮化钛薄膜由于其在较高温度的衬底上沉积生成，其晶核较大，阻值较低。同时，还提供了一种氮化钛薄膜制备系统。 该数据由<>整理 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210247468.1 【申请日】2012-07-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103540894A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103540894B 【授权公告日】2016-08-03 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23C14/06; H01L21/31 【发明人】赵强; 魏学宏; 刘长安 【主权项内容】一种氮化钛薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将衬底加热；通过物理气相沉积法在所述衬底上沉积制得氮化钛薄膜；其中，将所述衬底加热到的温度高于沉积时的反应温度。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】3.0 【被引证次数】2 【他引次数】3.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】2
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