【摘要】 本发明公开了一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，包括以下步骤：粘片，粗磨，细磨，粗抛，精抛。本发明所述的一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，使蓝宝石在切割时表面平整度得到加强，降低了加工成本。。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏天恒纳米科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226000 江苏省南通市海安县城东镇东海大道(东)18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】海安市 【申请号】CN201210556444.4 【申请日】2012-12-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103878662A 【公开公告日】2014-06-25 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B24B9/16 【发明人】顾小玲 【主权项内容】1.一种蓝宝石表面化学机械平整化加工方法，其特征在于：包括以下步骤：A．粘片 将蓝宝石片长有器件的一面用粘片设备粘在玻璃片上；B．粗磨 利用粗磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至150μm左右，粗糙度为2.0μm左右；C．细磨 用细磨机将蓝宝石衬底的厚度减薄至90~100μm，粗糙度为0.5μm左右，厚度均匀度在2.0μm以内；D．粗抛 用粗抛机和粗抛液对蓝宝石衬底进行抛光，粗糙度0.1μm，厚度均匀度1.0μm以内；E．精抛 用精抛机和精抛液对蓝宝石衬底进行抛光，使粗糙度到20μm以下。 【当前权利人】江苏天恒纳米科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市海安县城东镇东海大道(东)18号 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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