【摘要】 本发明公开一种用于制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的溶液及制备方法，把硅片置入如下溶液中：包括组分：碳酸盐0-5%，有机醇5-10%，水85-90%，以重量百分比计；所述碳酸盐为碳酸钠或碳酸钾，所述有机醇为三乙醇胺或丙三醇，所述水为去离子水；以硅片为阴极，以惰性电极材料为阳极，在400-800V电压下，处理1-5分钟，取出硅片，即得到双面纳米多孔硅薄膜硅片；该方法与环境兼容性好，因溶液为室温，处理速度快，简化了硅片的处理工序，具有处理效率高、节能、环保的特点；本发明处理后的硅片表面纳米孔的直径和深度根据工艺调整，纳米孔的分布密度也可根据工艺可调，这样降低了成本，提高了光的转化效率。 【专利类型】发明授权 【申请人】河海大学常州校区 【申请人类型】学校 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区晋陵北路200号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210087658.1 【申请日】2012-03-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102610699B 【公开公告日】2014-02-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102610699B 【授权公告日】2014-02-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L31/18; C01B33/021 【发明人】蒋永锋; 包晔峰; 杨可 【主权项内容】一种制备硅片表面纳米多孔硅薄膜的方法，其特征在于，把硅片置入一种溶液中，所述溶液包括如下组分：碳酸盐0-5%，有机醇5-10%，水85-90%，以重量百分比计；所述碳酸盐为碳酸钠或碳酸钾，所述有机醇为三乙醇胺或丙三醇，所述水为去离子水；以硅片为阴极，以惰性电极材料为阳极，在400-800V电压下，处理1-5分钟，取出硅片，即得到双面纳米多孔硅薄膜硅片。 【当前权利人】河海大学常州校区 【当前专利权人地址】江苏省常州市晋陵北路200号 【统一社会信用代码】12320400467289477N 【引证次数】2.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0

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