【摘要】 一种在线SPM生成系统及其控制方法，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备，尤其适用于集成电路工艺中光致抗蚀材料的剥离剂的处理，包括H2SO4供给单元，H2O2供给单元，SPM混合喷淋单元和控制单元，SPM混合喷淋单元包括一个SPM混合元件和至少一个SPM喷淋头；SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端，H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端，H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端，SPM混合元件的SPM输出端连接到SPM喷淋头。该系统通过流量检测反馈控制硫酸和过氧化氢的流量，控制精度高，流量值稳定，生成的SPM混合液混合比例准确，可调节范围宽，从而保证SPM混合液的活性范围广，可适用于各种不同的清洗工艺要求。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州瑞择微电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区长江中路25号3号楼一楼西 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210246880.1 【申请日】2012-07-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102755970B 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102755970B 【授权公告日】2014-06-18 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B08B3/02; B08B3/08; G03F7/42 【发明人】金海涛; 徐飞; 邬治国; 沈健 【主权项内容】一种在线SPM生成系统，包括H2SO4供给单元，H2O2供给单元，SPM混合喷淋单元和控制单元，其特征在于：所述的H2SO4供给单元包括H2SO4流量控制元件和第一全氟泵；所述的H2SO4流量控制元件由第一电动调压阀和第一气动调压阀连接组成；所述的H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到所述的SPM混合喷淋单元；所述的H2O2供给单元包括H2O2流量控制元件和第二全氟泵；所述的H2O2流量控制元件由第二电动调压阀和第二气动调压阀连接组成；所述的H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到所述的SPM混合喷淋单元；所述的SPM混合喷淋单元包括第一开关阀组，第二开关阀组，SPM混合元件和至少一个SPM喷淋头；所述的SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端；所述的H2SO4流量控制元件通过连接在H2SO4输送管路中的第一开关阀组，连接到SPM混合元件的第一输入端；所述的H2O2流量控制元件通过连接在H2O2输送管路中的第二开关阀组，连接到SPM混合元件的第二输入端；所述的SPM混合元件的SPM输出端连接到所述的SPM喷淋头；所述的控制单元包括第一流量计，第二流量计，A/D转换单元，工艺参数输入单元，控制运算单元和隔离驱动单元；所述的第一流量计串联连接在H2SO4输送管路中，所述的第二流量计串联连接在H2O2输送管路中；所述的第一流量计和第二流量计的流量检测输出端，分别连接到A/D转换单元的一个模拟量输入端；所述A/D转换单元的数字输出端连接到所述的控制运算单元的输入端；所述控制运算单元通过所述的工艺参数输入单元连接到外部HMI终端或者上级控制计算机网络；所述的控制运算单元通过隔离驱动单元的H2SO4流量控制输出端，连接到所述的H2SO4流量控制元件的输入端，通过隔离驱动单元的H2O2流量控制输出端，连接到所述的H2O2流量控制元件的输入端；借助于设置在药液输送管路中的流量计实时检测和控制运算单元的反馈控制，所述的在线SPM生成系统可以实时调整SPM混合液的流量、混合比和温度，可以随清洗工艺的不同时间段动态调节SPM混合液的活性，在使用之前按照需要的流量和混合比例即时生成混合比稳定的SPM混合液。 【当前权利人】常州瑞择微电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区长江中路25号3号楼一楼西 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411674863216M 【引证次数】9.0 【自引次数】3.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】12.0 【家族被引证次数】13

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