【摘要】 本发明公开了一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列，利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层，在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层，形成有高度差的上下两层反射层，通过改变铂、铬之间的电压，实时控制两反射层之间的高度差，使器件在自然光条件下呈现出不同的颜色，实现颜色的动态调控。本发明突破了传统微结构阵列深度方向尺寸固定的限制，利用压电薄膜材料的逆压电效应，只需改变外部电压，即可实时控制微结构的深度变化，从而实现无颜料多种色彩的实时动态调控，符合绿色环保的主题，可望在光学、材料学及印刷业、建筑业等领域获得广泛应用。。微信 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210209387.2 【申请日】2012-06-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102730624B 【公开公告日】2014-11-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102730624B 【授权公告日】2014-11-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B81B7/02; B81B7/04; B81C1/00 【发明人】张冬仙; 王旭龙琦; 章海军; 谷铖; 马毅; 毕然 【主权项内容】一种实时颜色动态调控微器件，其特征在于包括钛基片(1)、铂层(2)、聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列(3)、锆钛酸铅薄膜层(4)、铬纳米层(5)、正电极(6)、负电极(7)、控制电源(8)；钛基片(1)上溅射铂层(2)；铂层(2)上用同步辐射光源制备聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列(3)；在聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列(3)内磁控溅射锆钛酸铅薄膜层(4)；在聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列(3)和锆钛酸铅薄膜层(4)的上面溅射铬纳米层(5)；正电极(6)和负电极(7)分别从铬纳米层(5)和铂层(2)中引出并和控制电源(8)相连；随着控制电源(8)输出的电压变化，锆钛酸铅薄膜层(4)的厚度改变，从聚甲基丙烯酸甲酯微结构阵列(3)上表面和锆钛酸铅薄膜层(4)上表面出来的两束光的光程差发生变化，从而引起颜色的改变。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】6.0 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】2

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