【摘要】 本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统后成像于探测器处；调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度，使探测器得到零条纹干涉图，移去对准平板，实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题，减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。。该数据由<>整理 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】西湖区 【申请号】CN201210054455.2 【申请日】2012-03-02 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102591031B 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102591031B 【授权公告日】2014-07-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G02B27/30; G01B9/02 【发明人】杨甬英; 田超; 张磊; 韦涛 【主权项内容】一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜倾斜对准装置，其特征在于：由激光器(S1)出射的细光束经准直扩束系统(S2)后被扩束为平行宽光束，平行光入射至镀有半反半透膜的分光板(S3)后，一部分入射光被反射，反射光束被平面参考镜(S6)反射后再次返回分光板(S3)；另一部分入射光被透射，透射光束向前传播入射至辅助对准平板(S4)后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板(S3)处相遇发生干涉，形成干涉图，经成像系统(S7)后成像于探测器(S8)处；调节对准平板(S4)与部分补偿透镜(S5)相对于入射光的倾斜度，使探测器(S8)得到零条纹干涉图，移去对准平板(S4)，实现部分补偿透镜(S5)的倾斜对准；所述的辅助对准平板(S4)和部分补偿透镜(S5)采用组合分离机构，组合分离机构包括第一镜座(1)、第二镜座(2)、组合螺钉(3)和压圈(4)；第一镜座(1)上设有辅助对准平板(S4)和压圈(4)，第二镜座(2)上设有部分补偿透镜(S5)和压圈(4)，第一镜座(1)和第二镜座(2)通过组合螺钉(3)固定。 【当前权利人】浙江大学 【当前专利权人地址】浙江省杭州市西湖区浙大路38号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000470095016Q 【引证次数】5.0 【被引证次数】3 【自引次数】2.0 【他引次数】3.0 【被自引次数】3.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】18

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