【摘要】 一种溅射环及其制造方法，所述制造方法包括在溅射环的第一端部形成槽、在第二端部上形成嵌入部，槽的形状与嵌入部的形状相同且槽的宽度不大于嵌入部，槽具有适于阻止嵌入部从槽脱离开的阻挡壁。与现有通过焊接工艺将溅射环坯料第一端部与第二端部固定连接在一起的方法相比，本发明中溅射环坯料第一端部与第二端部固定连接在一起之后，第一端部与第二端部的连接处不会形成焊料，因此，不会对车削加工及花纹加工造成影响，且避免了焊接工艺过程中的高温条件会影响第一端部与第二端部的晶粒结构。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210316426.9 【申请日】2012-08-30 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103681201A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103681201B 【授权公告日】2016-03-09 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01J37/34 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 马松 【主权项内容】一种溅射环的制造方法，其特征在于，包括：提供溅射环坯料，所述溅射环坯料具有第一端部及第二端部；在所述第一端部上形成一个或多个间隔排列的槽，在所述第二端部上形成一个或多个间隔排列的嵌入部，所述槽的形状与所述嵌入部的形状相同且所述槽的宽度不大于所述嵌入部，所述槽具有适于阻止所述嵌入部从所述槽脱离开的阻挡壁；将所述嵌入部压入所述槽内，实现所述嵌入部与槽的过盈配合，并使所述第一端部与第二端部固定在一起形成溅射环；对所述溅射环的内表面进行车削加工，然后，在所述溅射环的内表面形成花纹。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】5.0 【被引证次数】4 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】5

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