【摘要】本发明公开了一种无热胆饮水机的自动除垢方法，该自动除垢方法使用的装置包括顺序连通的第一水箱、水泵、第二水箱以及加热体，该自动除垢方法包括如下步骤：在第二水箱中加入除垢剂，除垢剂为食品酸，食品酸与水的配比为20克食品酸：1升水；控制水
【摘要】 本发明涉及外延制作材料技术，尤其是一种化学气相沉积设备的托盘，所述托盘包括衬底承载面和多个限位件，所述多个限位件相互间隔设置于所述衬底承载面上，所述多个限位件用于限定多个衬底在所述承载面上的位置，所述限位件在平行所述衬底承载面的平面的第一截面上呈多边形或呈具有向内弯曲的边的多边形，所述多边形的角为圆角。本发明还提供具有这种托盘的化学气相沉积设备。本发明对托盘限位件的结构进行改进，比现有技术的限位件更经久耐用，避免因碰撞而破损所导致限位件材料溢出污染衬底，且限位件活动插接于托盘上，使用更方便。 【专利类型】发明申请 【申请人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314300 浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】海盐县 【申请号】CN201210574758.7 【申请日】2012-12-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103898478A 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/458 【发明人】苏育家; 左然; 黄颖泉; 黄允文 【主权项内容】一种化学气相沉积设备的托盘，所述托盘包括衬底承载面和多个限位件，所述多个限位件相互间隔设置于所述衬底承载面上，所述多个限位件用于限定多个衬底在所述承载面上的位置，其特征在于：所述限位件在平行所述衬底承载面的平面的第一截面上呈多边形或呈具有向内弯曲的边的多边形，所述多边形的角为圆角。 【当前权利人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【当前专利权人地址】浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】91330400MA29GQ2771 【引证次数】6.0 【被引证次数】12 【自引次数】1.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】12.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】12
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