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靶材组件的制作方法专利

时间:2026-10-07    作者:admin 点击: ( 3 ) 次

【摘要】 一种靶材组件的制作方法,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合,焊接效率高并且焊接缺陷率小,满足长期稳定生产、使用靶材的需要。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210206678.6 【申请日】2012-06-18 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103506725A 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103506725B 【授权公告日】2016-03-09 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B23K1/00 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 何梅 【主权项内容】一种靶材组件的制作方法,其特征在于,包括:提供镍靶材坯料和背板,所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽;利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层;利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层;将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽,利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合,以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。。: 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】5.0 【被引证次数】14 【自引次数】5.0 【被他引次数】14.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】14

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