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一种石英舟专利

时间:2026-09-28    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 一种石英舟,包括舟体和用于连接所述舟体同一侧的2个所述舟脚均为乳白不透明石英,材质上保证了统一性,在高温加工中,不会向外释放杂质微粒,确保石英舟所承载的被加工物体的纯度和良品率,且在检测环节,舟脚能一直保持对红外线较高的反射率,使得自动检测设备的定位能保持稳定,不会出现定位不准撞坏舟脚的问题,显著提高了石英舟的使用寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州安融石英有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215123 江苏省苏州市工业园区娄葑镇东富路32号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】常熟市 【申请号】CN201210189339.1 【申请日】2012-06-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103489954A 【公开公告日】2014-01-01 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L31/18; H01L21/673; C30B31/00 【发明人】常永喜; 陈文; 申应琪 【主权项内容】一种石英舟,包括舟体(1)和用于连接所述舟体(1)的同一侧的两个舟脚(2),其特征在于:同一侧两个所述舟脚(2)均为乳白不透明石英。 【当前权利人】苏州安融石英有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区娄葑镇东富路32号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320594576705791M 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0

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