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硅片上料方法专利

时间:2026-09-27    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明揭露一种硅片上料方法,其利用上料机将硅片传送至硅片检测装置,该方法包括以下步骤:将盛放有硅片的卡盒置于上料机的进料轨道,由进料轨道将其输送至第一工位;卡盒在第一工位由一抓手夹住并移动到第二工位;于第二工位处由一推片机构将卡盒内的硅片推入至一个第一暂存盒,然后抓手将空的卡盒移动至第三工位处并释放,同时位于第一暂存盒下方的上料轨道开始将第一暂存盒中的硅片运出;空的卡盒于第三工位处由上料机的出料轨道运回,同时抓手回至第一工位处以重复以上过程。 【专利类型】发明申请 【申请人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215168 江苏省苏州市吴中经济开发区兴吴路71号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201210280461.X 【申请日】2012-08-08 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103579060A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/673 【发明人】查俊; 苗新利 【主权项内容】一种硅片上料方法,包括以下步骤:a.将盛放有硅片的卡盒置于上料机的进料轨道,由进料轨道将其输送至第一工位;b.卡盒在第一工位由一抓手夹住并移动到第二工位;c.于第二工位处由一推片机构将卡盒内的硅片推入至一个第一暂存盒,然后抓手将空的卡盒移动至第三工位处并释放,同时位于第一暂存盒下方的上料轨道开始将第一暂存盒中的硅片运出;及d.空的卡盒于第三工位处由上料机的出料轨道运回,同时抓手回至第一工位处以重复以上过程。 【当前权利人】库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市吴中经济开发区兴吴路71号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205007344058670 【引证次数】7.0 【被引证次数】1 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】1

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