【摘要】 本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备。本发明解决了现有标定校准设备存在标定校准耗时长、标定校准效率低、标定校准能力有限、以及无法实现批量化自动标定校准的问题。MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备，包括可变环境装置、批量化标定测试平台、自动装卡平台、多通道数据采集系统、可变环境控制系统、装卡控制系统、以及主控制系统；批量化标定测试平台、自动装卡平台、可变环境控制系统均安装于可变环境装置内；多通道数据采集系统的信号输出端与主控制系统的信号输入端连接。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州中盛纳米科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215123 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路99号c幢413# 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201210581740.X 【申请日】2012-12-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103063879B 【公开公告日】2014-11-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103063879B 【授权公告日】2014-11-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01P21/00 【发明人】刘俊; 石云波; 丑修建; 郭涛; 薛彦辉 【主权项内容】1.一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备，其特征在于：包括可变环境装置、批量化标定测试平台、自动装卡平台、多通道数据采集系统、可变环境控制系统、装卡控制系统、以及主控制系统；批量化标定测试平台、自动装卡平台、可变环境控制系统均安装于可变环境装置内；多通道数据采集系统的信号输出端与主控制系统的信号输入端连接；可变环境装置的信号传输端通过可变环境控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台的信号传输端通过装卡控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台与批量化标定测试平台配合连接； 所述可变环境装置包括箱体(1)； 所述批量化标定测试平台包括振动台体(2)、振动台面(3)、以及槽形载台(4)；振动台体(2)固定于箱体(1)的内底面；振动台面(3)固定于振动台体(2)的上表面；槽形载台(4)的外底面放置于振动台面(3)的上表面，且槽形载台(4)的外侧面开设有销孔； 所述自动装卡平台包括智能扣件(5)、驱动电机(6)、横向传动螺母(7)、横向丝杠(8)、竖向传动螺母(9)、以及竖向丝杠(10)；智能扣件(5)固定于振动台面(3)的上表面，且智能扣件(5)扣接于槽形载台(4)的内底面；驱动电机(6)的输出轴端面垂直固定有销子，且销子与销孔位置对应；横向传动螺母(7)固定于驱动电机(6)的机座侧壁；横向丝杠(8)与横向传动螺母(7)配套；竖向传动螺母(9)固定于驱动电机(6)的机座侧壁；竖向丝杠(10)与竖向传动螺母(9)配套； 所述多通道数据采集系统包括阻抗匹配电路、减法电路、抗混叠滤波器、放大电路、同步采样ADC、FPGA、以及基准电压源；阻抗匹配电路的信号输出端与减法电路的信号输入端连接；减法电路的信号输出端与抗混叠滤波器的信号输入端连接；抗混叠滤波器的信号输出端与放大电路的信号输入端连接；放大电路的信号输出端与同步采样ADC的信号输入端连接；同步采样ADC的信号输出端与FPGA的信号输入端连接；FPGA的信号输出端与同步采样ADC的信号输入端连接；基准电压源的供电输出端分别与减法电路的供电输入端、同步采样ADC的供电输入端连接； 所述可变环境控制系统包括温度传感器、湿度传感器、倾角传感器、振动传感器、加热器、制冷器、以及加湿器；温度传感器、湿度传感器、加热器、制冷器、加湿器均安装于箱体(1)内；倾角传感器安装于槽形载台(4)上；振动传感器安装于振动台面(3)上； 所述装卡控制系统包括步进电机；步进电机的输出轴分别与横向丝杠(8)、竖向丝杠(10)连接； 所述主控制系统包括微型计算机、PLC、采样控制单元、输出单元、打印机、以及显示器；微型计算机的信号传输端分别与PLC的信号传输端、FPGA的信号传输端连接；采样控制单元的信号输入端分别与加热器的信号输出端、制冷器的信号输出端、加湿器的信号输出端、步进电机的信号输出端、湿度传感器的信号输出端、温度传感器的信号输出端、倾角传感器的信号输出端、振动传感器的信号输出端连接；采样控制单元的信号输出端与PLC的信号输入端连接；输出单元的信号输入端与PLC的信号输出端连接；输出单元的信号输出端分别与加热器的信号输入端、制冷器的信号输入端、加湿器的信号输入端、步进电机的信号输入端连接；打印机的信号输入端、显示器的信号输入端均与微型计算机的信号输出端连接。 【当前权利人】苏州中盛纳米科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路99号c幢413# 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205945866996042 【引证次数】3.0 【被引证次数】1 【他引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】19

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