【摘要】 本发明公开了一种高压离子源进气实时控制系统的结构。系统分为反馈信号产生与传输、信号处理与控制和控制传输与执行三大部分。离子饱和流传感器伸入到离子源内部，可控气阀安装在离子源侧面。根据离子饱和流传感器测得的离子饱和流信号和设置参考信号的差值调节离子源的进气量，以此来减小差值，控制可控气阀两端的电压，使得引出流逐渐逼近参考值。本发明可以使离子源的工作模式简单，提高了离子源系统的可靠性和稳定性；通过对进气量的调节，按照需要对等离子体进行加料，减轻了系统的真空抽气的负担；可以获得稳定、均匀的等离子体密度，有利于系统引出高质量的束流。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡慧明电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201210385269.7 【申请日】2012-10-12 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103730314A 【公开公告日】2014-04-16 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01J37/317; H01J37/30 【发明人】袁萍 【主权项内容】离子源进气实时控制系统，包括有离子源，其特征在于等离子体密度测量传感器伸入到离子源内部，离子流传感器的输出端与采样电路的输入端相连，采样电路的输出端与通过光纤与信号接收端相连，通过光纤，可以有效隔离高压对底部控制设备的影响；控制台采用工业控制计算机，它与A/D采集模块、网络模块和D/A输出模块通过PCI总线相连；D/A输出模块输出控制信号到电压/频率转换器的输入端，电压/频率转换器的输出端与频率/电压转换器的输入端通过光纤相连，频率/电压转换器的输出端连接到气体流量计电源驱动模块，气体流量计电源电源驱动模块控制气体离子源进气量的大小。 【当前权利人】无锡慧明电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉中三路99号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320205585595002P 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4

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