【摘要】本发明涉及一种盘花植绒透光透气面料，包括面料本体(1)，所述面料本体(1)呈网状，在所述面料本体(1)的上表面设有盘花层(2)，下表面设有植绒层(3)，所述盘花层(2)上设有盘花，所述植绒层(3)上设有绒花，所述面料本体(1)由织物
【摘要】 一种对位标记及其制作方法，该对位标记采用各向异性刻蚀技术制作形成，由于各向异性刻蚀在晶圆不同晶面上的刻蚀速率不一致，可以在晶圆上刻蚀出特定的晶面。依据该特征形成的V型槽，由于两个槽面都是具有特定晶向的晶面，所以其所夹形成的槽脊线也必定准直于晶圆晶向。因此本发明的对位标记可以避免晶圆制作过程引入的对位误差，提高后续对位工艺的精确度和准确性。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210190822.1 【申请日】2012-06-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103488063A 【公开公告日】2014-01-01 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103488063B 【授权公告日】2016-01-20 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】G03F9/00; H01L23/544; H01L21/02 【发明人】郭梅寒; 张新伟; 周国平; 夏长奉 【主权项内容】一种对位标记，形成于一具有衬底取向的晶圆衬底上，其特征在于：所述对位标记包括第一V型槽和第二V型槽，该第一V型槽和第二V型槽的槽脊线互相垂直，所述该第一V型槽的两个第一槽面和所述第二V型槽的两个第二槽面具有同一晶面族的表面取向，且该表面取向不同于所述衬底取向，其中两个第一槽面所夹形成的槽脊线严格准直于衬底晶向。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J 【引证次数】5.0 【被引证次数】7 【他引次数】5.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】7
未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1790316207.html
