【摘要】 一种在线等离子清洗方法，包括以下步骤：在上料区将待清洗工件从料盒内取出并传送至载物平台上，对应放入载物平台上间隔布置的工件放置槽内；将装载有待清洗工件的载物平台移动至清洗区并送入等离子清洗仓内，关闭等离子清洗仓的密封门；使等离子清洗仓内形成真空环境，然后向等离子清洗仓体内充入气体，电极通电，开始清洗；清洗完毕后，打开等离子清洗仓的密封门，载物平台移出等离子清洗仓并从清洗区移动至下料区；将载物平台上的工件重新装回料盒中。本发明方法在清洗之前将待清洗工件从料盒中取出并放置在载物台上，使待清洗工件表面不被阻挡，可对工件的表面进行全面清洗，从而有效消除芯片键合区及框架表面污染及氧化物。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润安盛科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区锡梅路55号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210429856.1 【申请日】2012-10-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103785490A 【公开公告日】2014-05-14 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103785490B 【授权公告日】2016-05-11 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B01J37/32 【发明人】吴建忠; 龚平; 王从亮; 韩林森; 刘晓明 【主权项内容】一种在线等离子清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、在上料区将待清洗工件从料盒内取出并传送至载物平台上，对应放入载物平台上间隔布置的工件放置槽内；步骤二、将装载有待清洗工件的载物平台移动至清洗区并送入等离子清洗仓内，关闭等离子清洗仓的密封门；步骤三、使等离子清洗仓内形成真空环境，然后向等离子清洗仓体内充入气体，电极通电，开始清洗；步骤四、清洗完毕后，打开等离子清洗仓的密封门，载物平台移出等离子清洗仓并从清洗区移动至下料区；步骤五、将载物平台上的工件重新装回料盒中。 【当前权利人】无锡华润安盛科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区锡梅路55号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214755862186E 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【他引次数】4.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】2

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