【摘要】 一种碲化镉薄膜制备方法及其使用的装置，包括将单质碲加热气化后形成碲蒸汽、以及将单质镉加热气化后形成镉蒸汽；用携带气体分别运载所述碲蒸汽和所述镉蒸汽并将所述碲蒸汽和镉蒸汽混合均匀得到碲镉混合蒸汽；所述携带气体再将所述碲镉混合蒸汽携带至衬底。本发明以碲、镉单质作为原料，采用碲、镉单质独立蒸发源，通过气相分子混合方法制备碲化镉薄膜的方法。这样不仅降低了碲化镉太阳电池的生产成本，而且也把高纯碲化镉原料制备和碲化镉薄膜制备工艺有机的结合到了一起。 （，） 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210197215.8 【申请日】2012-06-15 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103489957A 【公开公告日】2014-01-01 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L31/18; C23C14/06; C23C14/24 【发明人】刘志强; 蒋猛 【主权项内容】一种制备碲化镉薄膜的装置，其特征在于：包括用于加热以气化单质碲的第一原料加热腔和用于加热以气化单质镉的第二原料加热腔；所述第一原料加热腔设有用于把所述第一原料加热腔内气化的碲蒸汽和携带气体导出的第一气体导出管；所述第二原料加热腔设有用于把所述第二原料加热腔内气化的镉蒸汽和携带气体导出的第二气体导出管；所述第一气体导出管和第二气体导出管均连通至一气体混合装置；所述气体混合装置的出口朝向一衬底设置。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区长江南路17-6号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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