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逆导型绝缘栅双极晶体管及其制作方法专利

时间:2026-09-25    作者:admin 点击: ( 3 ) 次

【摘要】 一种逆导型绝缘栅双极晶体管及其制作方法,该方法包括:提供一重掺杂衬底,在所述重掺杂衬底表面上形成缓冲层,所述缓冲层的厚度大于1μm,峰值浓度为1e14/cm3~3e16/cm3,减薄所述重掺杂衬底。由于所述缓冲层的厚度可以根据器件的耐压水平做的更厚,而浓度可以做的更加精确,所以可以进一步的优化逆导型绝缘栅双极晶体管的通态压降和导通损耗,改善所述逆导型绝缘栅双极晶体管的性能。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏物联网研究发展中心; 中国科学院微电子研究所; 江苏中科君芯科技有限公司 【申请人类型】企业,科研单位 【申请人地址】214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210519817.0 【申请日】2012-12-06 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103855089A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L21/8222; H01L27/082; H01L29/06 【发明人】朱阳军; 田晓丽; 张文亮; 吴振兴 【主权项内容】1.一种逆导型绝缘栅双极晶体管的制作方法,其特征在于,包括:提供一重掺杂衬底;在所述重掺杂衬底表面上形成缓冲层,所述缓冲层的厚度大于1μm,峰值浓度为1e14/cm~3e16/cm;减薄所述重掺杂衬底。 【当前权利人】江苏物联网研究发展中心; 中国科学院微电子研究所; 江苏中科君芯科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座; 北京市朝阳区北土城西路3号中国科学院微电子研究所; 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D2-501 【专利权人类型】; ; 有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】1232020046637256X7; 12100000400834434U; 91320213585596419Y 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3

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