【摘要】本发明涉及光纤光栅点焊式应变传感器的安装定位装置，包括双向定位套、压块、自旋式固定销、定位基座；所述双向定位套上设有开口以及定位V形口；所述自旋式定位销的一端与所述压块连接；所述定位基座内设有可调螺杆和磁块，所述可调螺杆的一端与所述
【摘要】 。本发明公开一种光刻对焦参数测试方法，包括：将测试晶圆表面划分为多个测试区域；为每个测试区域i分配预测试的对焦参数Fpi；根据所述测试区域i的高度Hi将所述预测试的对焦参数Fpi进行修正得到实际用于测试的对焦参数Fi；根据所述实际用于测试的对焦参数Fi对每个测试区域i进行光刻成像。还公开一种使用上述测试方法的测试系统。上述方法对预测试的对焦参数进行校正，使得测试结果更加准确。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210245746.X 【申请日】2012-07-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103545174A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103545174B 【授权公告日】2016-08-24 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L21/027; H01L21/66; G03F7/20 【发明人】李健 【主权项内容】一种光刻对焦参数测试方法，其特征在于，包括：将测试晶圆表面划分为多个测试区域；为每个测试区域i分配预测试的对焦参数Fpi；根据所述测试区域i的高度Hi将所述预测试的对焦参数Fpi进行修正得到实际用于测试的对焦参数Fi；根据所述实际用于测试的对焦参数Fi对每个测试区域i进行光刻成像。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214739444443B 【引证次数】3.0 【被引证次数】12 【他引次数】3.0 【被他引次数】12.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】12
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