【摘要】 本发明提供了一种银浆固化烘箱内气体压力的控制装置，具有气动式自动风门、手动负压调节阀、手动正压调节阀、主抽风管道、付抽风管道、烘箱、温度传感器等部件。烘箱连接主抽风管道，主抽风管道中段连接有付抽风管道；主抽风管道中设置有气动式自动风门和手动负压调节阀，付抽风管道中设置有手动正压调节阀，温度传感器连接烘箱上，微压测量表连接在主抽风管道上。本发明使用时，当烘箱温度小于X℃，温度传感器通过自控装置控制气动式自动风门打开；当烘箱温度大于X℃时，气动式风门关闭，残余的胶挥发物通过付抽风管道排放。本发明解决了胶固化过程中器件氧化和沾污的问题，提高了键合质量和器件的寿命，可广泛应用于电子产品封装行业。 【专利类型】发明授权 【申请人】南通华达微电子集团有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226006 江苏省南通市崇川区紫琅路99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】崇川区 【申请号】CN201210284127.1 【申请日】2012-08-11 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102798283B 【公开公告日】2014-06-04 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102798283B 【授权公告日】2014-06-04 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】F26B21/10; B29C65/52; B05D3/02 【发明人】季达; 储新建 【主权项内容】一种银浆固化烘箱内气体压力控制装置，含有主抽风管道(6)、副抽风管道(11)、烘箱(2)及其内部能放置的待胶接零件、焊接或者胶接用银浆，主抽风管道出风口(7)连接有抽风机，烘箱(2)连接有N2气源(1)作为烘箱(2)中的惰性保护气体，其特征在于：还含有下列组成部件：气动式自动风门(5)、手动负压调节阀(8)、手动正压调节阀(10)、微压测量表(13)、温度传感器(3)、自控装置(4)；烘箱(2)连接着主抽风管道入风口(14)；主抽风管道(6)上连接副抽风管道入风口(12)、副抽风管道出风口(9)；在主抽风管道(6)中，副抽风管道入风口(12)与副抽风管道出风口(9)之间设置有气动式自动风门(5)，能够根据烘箱(2)中气体的温度控制气动式自动风门(5)的开关；副抽风管道出风口(9)与主抽风管道出风口(7)之间设置有手动负压调节阀(8)，能够根据微压测量表(13)显示的气体压力手动控制其风门的开关；在副抽风管道(11)中，设置有手动正压调节阀(10)，能够根据微压测量表(13)显示的气体压力手动控制其风门的开关；温度传感器(3)连接在烘箱(2)上，用于感知或测量其内部气体的温度数据，温度传感器(3)通过自控装置(4)连接控制气动式自动风门(5)，实现其风门的自动开关。 【当前权利人】南通华达微电子集团有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市崇川区紫琅路99号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320600138298807R 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】1

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