【摘要】本发明实施例公开了一种硅片的返工处理方法,包括以下步骤:1、清除掉硅片上的SiNx薄膜;2、采用平板式PECVD装置对硅片重新进行SiNx薄膜沉淀;3、对SiNx薄膜沉淀完成后的硅片进行丝网印刷和烧结,然后进行电性能测试。本发明实施
【摘要】 本实用新型涉及一种气控反比例压力阀,包括阀体和设置在阀体内的阀芯,其特征在于:所述阀体内设有上腔体和下腔体,上腔体和下腔体通过阀芯导套相隔;阀芯竖直插设在阀芯导套内并能在阀芯导套中上下移动,阀芯上部位于上腔体内,阀芯下部伸入下腔体内;所述上腔体通过上膜片、下膜片和阀芯挡板分隔成控制空气腔、排气腔和反馈空气腔;所述下腔体包括相互连通的进气腔和出气腔;阀芯下部穿过出气腔并伸入进气腔口,阀芯底端为锥形,阀芯下移可封住进气腔口。本实用新型结构巧妙合理,控制空气压力越大,压力阀的输出压力越小。反馈空气孔在负载突然改变时起到稳定输出压力的阻尼作用,提高了压力阀的稳压精度,改善了压力阀的动态性能。。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡气动技术研究所有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214072 江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号6号楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020502979.X 【申请日】2010-08-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201795116U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201795116U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】F16K17/00; F16K31/126; F16K27/00 【发明人】方清华; 王春丽; 张连仁 【主权项内容】气控反比例压力阀,包括阀体(1)和设置在阀体(1)内的阀芯(13),其特征在于:所述阀体(1)内设有上腔体和下腔体,上腔体和下腔体通过阀芯导套(15)相隔;阀芯导套(15)的法兰圈上安放有弹簧(17),阀芯(13)穿过弹簧(17)竖直插设在阀芯导套(15)内并能在阀芯导套(15)中上下移动,阀芯(13)上部位于上腔体内,阀芯(13)下部伸入下腔体内,弹簧(17)的上下端分别与阀芯(13)上端部的弹簧座和阀芯导套(15)的法兰圈相抵;所述上腔体通过上膜片(3)、下膜片(6)和阀芯挡板(18)分隔成控制空气腔(2)、排气腔(4)和反馈空气腔(7);控制空气腔(2)壁上设有用于通入控制空气的控制空气口(19);排气腔(4)侧壁上设有排气口(5),排气口(5)与外界相通;所述阀芯挡板(18)装在下膜片(6)中心,阀芯挡板(18)上表面与上膜片(3)下表面由胶粘接,阀芯挡板(18)下表面压住阀芯(13)顶端;所述阀芯(13)顶端为锥形,阀芯挡板(18)上开设有与阀芯(13)的锥形顶端对应相抵的内孔(18a),所述内孔(18a)通过支孔(18b)与排气腔(4)相连通;反馈空气腔(7)壁上设有反馈空气孔(8);所述下腔体包括相互连通的进气腔(12)和出气腔(11),进气腔(12)与压缩空气输入孔(14)相连通;出气腔(11)与压缩空气输出孔(9)相连通,压缩空气输出孔(9)与反馈空气腔(7)之间通过反馈空气孔(8)相连通;所述阀芯(13)下部穿过出气腔(11)并伸入进气腔(12)口,阀芯(13)底端为锥形,阀芯(13)下移可封住进气腔(12)口。 该数据由<>整理 【当前权利人】无锡气动技术研究所有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号6号楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913202114662850957
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