【摘要】 一种基于双通道光栅的微小线性位移传感器，它主要包括：一可发生线状激光并被一发射聚焦透镜会聚、由一被测物体反射的线状激光器，一接收所述线状激光并会聚的接收聚焦透镜，在所述接收聚焦透镜之后，设置有供线状激光分别照射并透过双通道光栅的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域，分别设置有接收线状激光的一通道光电探测器和二通道光电探测器，所述一通道光电探测器和二通道光电探测器的输出端口分别与实时信号处理电路的输入端口相连；它具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点，可应用于高频永磁力马达等元件的微小线性位移的静动态特性的在线或离线检测。 【专利类型】发明授权 【申请人】方平 【申请人类型】个人 【申请人地址】311700 浙江省杭州市千岛湖镇明珠花园41幢2单元303室 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】淳安县 【申请号】CN201210061070.9 【申请日】2012-03-09 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102589447B 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102589447B 【授权公告日】2014-01-29 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01B11/02 【发明人】方平 【主权项内容】1.一种基于双通道光栅的微小线性位移传感器，其特征在于它主要包括：一可发生线状激光并被一发射聚焦透镜(2)会聚、由一被测物体(1)反射的线状激光器(3)，一接收所述线状激光并会聚的接收聚焦透镜(4)，在所述接收聚焦透镜(4)之后，设置有供线状激光分别照射并透过双通道光栅(5)的一通道光栅和二通道光栅两个区域，对应于所述一通道光栅和二通道光栅两个区域，分别设置有接收线状激光的一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)，所述一通道光电探测器(6)和二通道光电探测器(7)的输出端口分别与实时信号处理电路(8)的输入端口相连；所述的接收聚焦透镜(4)设置在双通道光栅(5)之前，入射在被测物体(1)表面上的反射光经接受聚焦透镜(4)后聚焦成线宽与双通道光栅(5)的单个明暗条纹宽度一致的线状激光，照射在双通道光栅(5)上；所述的双通道光栅(5)为其上设置有高分辨率的、明暗相间条纹的透明玻璃薄片，明暗相间条纹间相互平行且宽度一致，并分为一通道光栅和二通道光栅两个区域；所述明暗相间条纹采用刻蚀法加工而成，单个条纹的宽度小于5μm；一通道光栅和二通道光栅的明暗条纹之间在物理位置上设置有偏移量，且当相邻明条纹或相邻暗条纹的间距为Δ时，其偏移量设置为Δ / 4，并使其分别对应的一通道光电探测器(6)与二通道光电探测器(7)的输出信号间的相位差为90°。 【当前权利人】方平 【当前专利权人地址】浙江省杭州市千岛湖镇明珠花园41幢2单元303室 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】5

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