【摘要】 本发明公开了一种可用于制作光子晶体掩膜层的双光束曝光系统，包括激光光源、扩束准直系统、分束合光装置和两个可转动晶片夹持器, 分束合光装置包括第一分束合光棱镜、第二分束合光棱镜和两个反射镜，激光光源、扩束准直系统和第一分束合光棱镜由前至后依次设置，两个反射镜分别位于第一分束合光棱镜的后面和侧面，第一、第二分束合光棱镜和两个反射镜所在的位置组成平行四边形，两个可转动晶片夹持器分别位于第二分束合光棱镜的后面和侧面，电动快门设置于激光光源和扩束准直系统之间或者设置于扩束准直系统和第一分束合光棱镜之间。还公开了一种可用于制作光子晶体掩膜层的双光束曝光方法。本发明结构简单、价格低廉的、易于实现。 【专利类型】发明授权 【申请人】杭州士兰明芯科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道10号大街300号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】上城区 【申请号】CN201210202600.7 【申请日】2012-06-15 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102707584B 【公开公告日】2014-03-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102707584B 【授权公告日】2014-03-12 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G03F7/20; G02B27/10; G02B26/08; G02B27/09; G02B5/08 【发明人】丁海生; 李东昇; 马新刚; 江忠永; 张昊翔; 王洋; 李超; 黄捷; 黄敬 【主权项内容】一种可用于制作光子晶体掩膜层的双光束曝光系统，其特征在于，包括激光光源、扩束准直系统、分束合光装置和两个可转动晶片夹持器，所述分束合光装置包括第一分束合光棱镜、第二分束合光棱镜和两个反射镜，所述激光光源、扩束准直系统和第一分束合光棱镜由前至后依次设置，所述两个反射镜分别位于所述第一分束合光棱镜的后面和侧面，第一、第二分束合光棱镜和两个反射镜所在的位置组成平行四边形，所述两个可转动晶片夹持器分别位于第二分束合光棱镜的后面和侧面；激光光源发出的激光经扩束准直系统扩束准直后，经第一分束合光棱镜分成两束光，两束光分别经对应的反射镜反射后传播到第二个分束合光棱镜处，经第二个分束合光棱镜合光后交叠在两个可转动晶片夹持器上。 【当前权利人】杭州士兰明芯科技有限公司 【当前专利权人地址】浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道10号大街300号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913301017654845885 【引证次数】9.0 【自引次数】1.0 【他引次数】8.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】2

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1791496192.html