【摘要】 本发明涉及一种制作太阳能电池片的工艺，它包括：清洗、制融、扩散、去磷硅玻璃、镀膜、印刷和烧结；其特征在于：所述的扩散工艺是指将晶硅基片在温度为800-900℃，氧气流量为900-1100L/min，大氮流量1750-1800L/min，小氮流量为1750-1800L/min的情况下与氧气和三氯氧磷反应上形成PN结；所述的去磷硅玻璃工序和镀膜工序之间还有碱清洗工序，所述的碱清洗工序包括以下步骤：(1)碱洗，用碱溶液与硅片表面反应；(2)水洗，用水冲洗硅片表面的碱溶液；(3)中和，再用弱酸中和表面残留的碱；(4)水洗，水洗硅片表面残留的弱酸；(5)脱水干燥，将经过上述步骤的硅片脱水干燥。 【专利类型】发明申请 【申请人】东方日升新能源股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315609 浙江省宁波市宁海县梅林街道塔山工业区 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】宁海县 【申请号】CN201210511495.5 【申请日】2012-12-04 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103855243A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103855243B 【授权公告日】2016-04-20 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】林海峰; 高慧慧; 曾学仁; 唐坤友; 陈国标 【主权项内容】1.一种制作太阳能电池片的工艺，它包括：清洗、制融、扩散、去磷硅玻璃、镀膜、印刷和烧结；其特征在于：所述的扩散工艺是指将晶硅基片在温度为800-900℃，氧气流量为900-1100L/min，大氮流量1750-1800 L/min，小氮流量为1750-1800 L/min的情况下与氧气和三氯氧磷反映上形成PN结；所述的去磷硅玻璃工序和镀膜工序之间还有碱清洗工序，所述的碱清洗工序包括以下步骤：(1)碱洗，用碱溶液与硅片表面反应；(2)水洗，用水冲洗硅片表面的碱溶液；(3)中和，再用弱酸中和表面残留的碱；(4)水洗，水洗硅片表面残留的弱酸；(5)脱水干燥，将经过上述步骤的硅片脱水干燥。 【当前权利人】东方日升(常州)新能源有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市金坛区直溪镇工业集中区水南路1号 【专利权人类型】其他股份有限公司(上市) 【统一社会信用代码】913302001449739014 【引证次数】2.0 【被引证次数】2 【他引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】2

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