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一种金刚线切割硅片的清洗方法专利

时间:2026-10-06    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种金刚线切割硅片的清洗方法,包括:对切割好的硅片进行预清洗;采用活化清洗剂对预清洗后的硅片进行活化清洗;其中,所述活化清洗剂为纯水、氢氧化钠以及双氧水构成的混合试剂。所述方法通过具有强氧化性的双氧水能够有效去除硅片表面残留的有机物、细菌、还原性金属离子等杂质;且通过控制所述活化清洗剂中氢氧化钠的浓度可使得所述活化清洗剂只与表面存在较大缺陷损伤处反应,去除硅片表面的损伤处,在硅片后续制绒过程中,硅片表面与制绒试剂的接触情况相同,即硅片表面各处与制绒试剂的反应速度相同,从而使得制绒后硅片具有较好的绒面。因此,本申请所述方法能够有效提高硅片表面的洁净度,硅片制绒后绒面的均匀性较好。 【专利类型】发明申请 【申请人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区宝群路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】嘉善县 【申请号】CN201210320133.8 【申请日】2012-08-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103658096A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103658096B 【授权公告日】2015-10-21 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】B08B3/08; B08B3/12; B08B3/02 【发明人】崔三观; 蔡龙; 袁刚; 刘学; 杨长剑 【主权项内容】一种金刚线切割硅片的清洗方法,其特征在于,包括:对切割好的硅片进行预清洗;采用活化清洗剂对预清洗后的硅片进行活化清洗;其中,所述活化清洗剂为双氧水、氢氧化钠以及纯水构成的混合试剂。 【当前权利人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区宝群路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91330421753019961P 【被引证次数】23 【被他引次数】23.0 【家族被引证次数】23

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