【摘要】 本发明提供一种槽宽度和尺寸的测量方法，槽宽度的测量方法，包括：槽最小口径处的宽度为槽的宽度，槽包括相对的两侧壁，两相对侧壁在最小口径处均为最突出位置；提供三维坐标测量仪，包括球形测头、与球形测头连接的柱状杆；柱状杆的对称轴通过所述球心；用柱状杆接触并相切于所述第一侧壁的最突出位置，球形测头接触所述第一侧壁进行测量，记录第一测量值；用柱状杆接触并相切于第二侧壁的最突出位置，球形测头接触所述第二侧壁进行测量，记录第二测量值；槽宽度＝第二测量值-第一测量值-(球形测头直径-柱状杆宽度)。本发明还提供一种槽尺寸的方法。采用本发明的测量方法可以减小槽的测量误差。 （，） 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210371245.6 【申请日】2012-09-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103712583A 【公开公告日】2014-04-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103712583B 【授权公告日】2016-08-03 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】G01B21/02; G01B21/10; G01B21/14 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 陈文庆 【主权项内容】一种槽宽度的测量方法，其特征在于，所述槽最小口径处的宽度为槽的宽度，所述槽包括相对的两侧壁，两相对侧壁在所述最小口径处均为最突出位置；所述方法包括：提供三维坐标测量仪，包括球形测头、与所述球形测头连接的柱状杆；所述柱状杆的对称轴通过所述球心；用所述柱状杆接触并相切于所述第一侧壁的最突出位置，所述球形测头接触所述第一侧壁进行测量，记录第一测量值；用所述柱状杆接触并相切于所述第二侧壁的最突出位置，所述球形测头接触所述第二侧壁进行测量，记录第二测量值；所述槽宽度＝第二测量值-第一测量值-(球形测头直径-柱状杆宽度)。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】8.0 【被引证次数】6 【自引次数】2.0 【他引次数】6.0 【被他引次数】6.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】6

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