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靶材的处理方法专利

时间:2026-10-07    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 一种靶材的处理方法,包括:提供靶材,所述靶材的溅射面包括喷砂区域和非喷砂区域;对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理,所述喷砂处理包括:进行重力式喷砂处理后进行直压式喷砂处理。本发明采用先利用重力式喷砂处理在靶材表面形成粗糙度较小的表面,然后再利用直压式喷砂处理增加粗糙度,这样的方式中,粗糙度会分布得比较均匀,且容易实现较大的粗糙度。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210199632.6 【申请日】2012-06-13 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103481199A 【公开公告日】2014-01-01 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103481199B 【授权公告日】2016-02-17 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B24C1/06; B24C5/02; B24C11/00; C23C14/34 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 高建 【主权项内容】一种靶材的处理方法,其特征在于,包括:提供靶材,所述靶材的溅射面包括喷砂区域和非喷砂区域;对靶材的待喷砂区域进行喷砂处理,所述喷砂处理包括:进行重力式喷砂处理后进行直压式喷砂处理。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】8.0 【被引证次数】18 【自引次数】4.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】18.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】18

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