【摘要】 本发明提供一种固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法，其中固体密度测量方法，包括：提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ空gV物＝M2+ρ液gV物，获取固体试样的体积；其中，ρ空为空气的密度、ρ液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ空gV物或M2+ρ液gV物。本发明还提供一种检验靶材密度是否合格的方法，采用本发明的固体密度测量方法能够提高靶材密度的检测精度，提高溅射工艺中的镀膜质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210594604.4 【申请日】2012-12-31 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103913399A 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103913399B 【授权公告日】2016-08-17 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】G01N9/00; G01N9/36 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 李小萍 【主权项内容】一种固体密度测量方法，其特征在于，提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ空gV物＝M2+ρ液gV物，获取固体试样的体积；其中，ρ空为空气的密度、ρ液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ空gV物或M2+ρ液gV物。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】7.0 【被引证次数】14 【他引次数】7.0 【被他引次数】14.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】14

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