【摘要】 本发明公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，其步骤是：(1)将石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；(2)将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；(3)将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；(4)将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；(5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管再次烘干；(6)将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。本发明的有益效果是增强石墨舟的处理效果，提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。 【专利类型】发明申请 【申请人】浙江鸿禧光伏科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314206 浙江省嘉兴市平湖市新仓镇童车路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】平湖市 【申请号】CN201210277304.3 【申请日】2012-08-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103579057A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】H01L21/673 【发明人】徐杰 【主权项内容】一种提高石墨舟处理效果的方法，其具体工艺步骤为：(1)将需要处理的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；(2)将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；(3)将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；(4)将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；(5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干；(6)将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。 【当前权利人】浙江鸿禧能源股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市平湖市新仓镇广全线联盟段283号 【专利权人类型】股份有限公司(非上市、自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9133040067615603X2 【引证次数】4.0 【被引证次数】12 【他引次数】4.0 【被他引次数】12.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】12

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